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工业电动垂直位移台
行程范围
20 mm
小位移增量
0.10 µm
大速度
5 mm/s
中心负载
500 N
精度,保证值
±2.0 µm
双向重复精度,保证值
±0.6 µm
单向重复精度,保证值
±0.1 µm
编码器分辨率
0.05 µm
原点重复精度
±0.5 µm
电缆长度
3 m
端口
DB25M
俯仰,保证值
±50 µrad
俯仰顺应性
10 µrad/ Nm
滚转顺应性
10 µrad/ Nm
重量
14.5 kg
MTBF
20,000 h (25%looad, 30% duty cycle)
RoHS
Compliant
工业电动垂直位移台
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