日本进口yamamoto山本渡金晶圆电镀设备 A-52硅片电镀测试设备组
本进口yamamoto山本渡金晶圆电镀设备 A-52硅片电镀测试设备组
适用于2至12英寸硅片的电镀设备。
半导体和MEMS的精密电镀可以使用专用夹具进行。其结构是一边不断过滤一边溢流，从槽底产生温和的对流，有单侧溢流型和可进行高速搅拌的双面溢流型。使用桨式搅拌进行直接搅拌。
它也可以用作生产设施。
此外，已在日本和海外获得多项，还有多项正在申请中。*电脑单独出售
板材
它不仅可用于硅晶圆，还可用于SiC、玻璃、GaAs、InP等材料制成的基板。
关于特殊订单生产
在标准设备的基础上，我们可以根据客户的样品定制夹具和双面电镀夹具的形状。我们还拥有阳极氧化夹具和阳极氧化夹具等制造设备的跟踪记录。治具类型有全密封型、非密封型、卧式等，欢迎随时与我们联系。
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A-52-ST□AWJYPPA 硅片电镀实验装置WJ型（YPP电源用）
| 产品编号 | 产品名称 | 数量 |
A-52-ST□-P01A | 硅片水箱（亚克力双层底型） | 1 |
| A-52-ST□-P02A | 硅片用阴极盒（标准型）（*1） | 1 |
| A-52-ST□-P09A | 硅片阳极支架（阳极背面凸起）（*2） | 1 |
| A-52-ST□-P04D | 桨式搅拌器 | 1 |
B-90-A20-APFA05 / | 迷你迷你过滤器20APFA型（2～6英寸用） 迷你迷你过滤器40APFWJ型（8英寸用） | 1 |
| A-63-M202 B-92-M10-P04A | 气泵 M202 (AC100V) (2-4寸) | 1 |
| A-52-P18 | 空气过滤器 | 1 |
| A-52-ST2-P10WJ B-85WJ B-83WJB2 B-95-1A | 晶圆水箱加热器 WJ2型（2英寸） 300W PFA涂层加热器（AC100V） 300W石英小型浸入式加热器 WJB型（5-6英寸） 500W石英加热器（8英寸） | 2 1 3 3 |
| – | 温度传感器、加热器的塞子 | 1 |
(*1) 从定向平面型或切口型中选择。也有密封型和真空密封型。
(*2) 不溶性阳极也有隔膜型。
(*3) 英寸数填写在产品编号的□标记中。
(*) YPP 电源套件。电源、温度控制器和阳极板单独出售。请单独A-57-15031WA、A-57-15100WA、A-57-15101D 的电源。PC 单独出售。
强力搅拌水箱（双溢流式可实现约两倍的搅拌速度）
通过将溢流从 1 侧更改为 2 侧，桨式搅拌速度增加至 130 rpm。溶液的搅拌效率提高，镀覆更加稳定。此外，还增加了防液体飞溅结构。
| 产品编号 | 产品名称 | 数量 |
A-52-ST□-U | 硅片水箱（亚克力双层底型） | 1 |
目前该产品为定制产品。请电竞滚球官网（中国）有限公司官网了解尺寸和规格。
根据电镀的类型和尺寸，我们可以提出三边溢流型。
▼ 晶圆电镀设备（与标准设备不同）的视频请点击此处
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