产品简介
铝制高真空L型阀XL□系列/CAD动作方式轴密封形式阀形式材质法兰尺寸XLA气控波纹管密封单作用(N
详情介绍
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| | 系列/CAD | 动作方式 | 轴密封形式
| 阀形式 | 材质 | 法兰尺寸 | | XLA | 气控 | 波纹管密封 | 单作用
(N.C.) | 阀体：
铝合金
波纹管：
SUS316L | 16～80 | XLAV
(带电磁阀) | | XLC | 双作用 | XLCV
(带电磁阀) | | XLF | O形圈密封
| 单作用
(N.C.) | 阀体：
铝合金 | 16～160 | XLFV
(带电磁阀) | | XLG | 双作用 | 16～80 | XLGV
(带电磁阀) | | XLD | 波纹管・
O形圈密封
| 单作用
(N.C.) | 阀体：
铝合金
波纹管：
SUS316L | 25～80 | XLDV
(带电磁阀) | | XLH | 手动 | 波纹管密封
| 手动 | 阀体：
铝合金
波纹管：
SUS316L | 16～50 | | XLS | 电磁式 | 波纹管压力平衡 | 单作用
(N.C.) | 16, 25 | | 特长 | |
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| 铝制快换接头装拆 高真空L型阀 XLAQ·XLDQ |
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| | 系列/CAD | 动作方式 | 轴密封形式 | 阀形式 | 材质 | 法兰尺寸 | | XLAQ | 气控 | 波纹管密封 | 单作用
(N.C.) | 阀体：
铝
波纹管：
SUS316L | 16～50 | | XLDQ | 波纹管密封
O形圈密封 | 40,50 | | 特长 | |
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注）对直通型无尺寸16的阀。 | 系列/CAD
(L型/直通型) | 动作方式 | 轴密封方式 | 阀形式 | 材质 | 法兰尺寸 | | XMA/XYA | 气控 | 波纹管密封 | 单作用
(N.C.) | 阀体：
SCS13
(相当SUS304)
波纹管：
SUS316L | 16～80注） | | XMC/XYC | 双作用 | | XMD/XYD | 波纹管
O型圈密封 | 单作用
(N.C.) | 阀体：
SCS13
(相当SUS304)
波纹管：
SUS316L | 25～80 | | XMH/XYH | 手动 | 波纹管密封 | 手动 | 阀体：
SCS13
(相当SUS304)
波纹管：
SUS316L | 16～50注） | | 特长 | - 采用精密铸造一体化结构，无气体滞留。
- 与铝制高真空L型阀XL系列的安装有互换性 (XM系列)
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| | 系列 | 磁性开关种类 | 内容 | | D Series | 有触点的磁性开关 | 一般 (通用型) | | 无触点的磁性开关 | 一般 (通用型) |
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| | 系列/CAD | 阀形式 | 使用流体 | 配管连接方式 | 配管尺寸 | | XVD | 常断
(加压通/弹簧密封) | 氮气、空气、惰性气体等 | VCR®
Swagelok® | 1/4B | | 特长 | - 阀与针阀一体化结构使配管缩短为原来的1/4。
- (阀芯)座部分采用间隙隔膜，微粒子数量大幅降低。
- 伴随主供气初期供气可进行流量调整。
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| | 系列/CAD | 使用压力范围 (Pa) | 使用流体 | 门尺寸
(高×宽) (mm) | 动作压力
(MPa) | | XGT | 大气压～1×10-6 | 惰性气体系的真空 | 32×222
46×236
50×336 | 0.45～0.6 | | 特长 | - 对于半导体装置等场合、适合于负载锁定室和传送室以及传送室和过程室之间有门阀隔开的场合。
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| | 系列/CAD | 使用环境压力｛Pa (ABS)｝ | 缸径 (mm) | | CYV | 大气～1.3×10-4 | 15,32 | | 特长 | - 真空环境内 (1.3×10-4Pa) 在搬运场合可以使用的气缸。
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