产品简介： VTC-200-4P 红外加热喷雾旋转涂膜机、 匀胶机、 显影机、 甩胶机、 旋涂仪、 spin coater 主要用于半导体工艺、制版工艺过程中图形的显影及表面涂覆工艺， 是一款上盖可 以加热的匀胶机、 显影机，在匀胶或显影过程结束后使用加热功能使胶体薄膜中的溶剂继续 蒸发到含量。 工作过程中显影液或胶体以雾状喷到样片上，使溶液在样片表面均匀分布， 有利于薄膜和显影过程的顺利进行。 本机电机部分、 温度控制部分、 注液部分分别使用独立 电源进行控制，电机调速系统则采用了抗干扰性高的 PLC 进行控制，转数在 100-2000RPM 范围内可调。 涂膜机在工作时设有两个阶段，在启动前根据实际需要进行设置。 VTC-200-4P 红外加热喷雾旋转涂覆机、匀胶机、甩胶机、旋涂仪、显影机、 spincoater 启动快速、转 数稳定，可以保证膜层厚度的均匀性与一致性。 对于样件的固定，采用橡胶吸盘和磁力钢片模板，不仅样件取放自如，而且操作简便。 此外，在安装结构上，采取了减震措施，降低运 转时的噪音。
| 产品型号 | VTC-200-4P 红外加热喷雾旋转涂覆机、匀胶机、显影机、甩胶机、旋涂仪、 spin coater |
| 安装条件 | 本设备要求在海拔 1000m 以下， 温度 25℃±15℃ ，湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。 1、水：设备配有进出水口 2、电： AC220V 50Hz，必须有良好接地。 3、气：不需要 |
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| 4、工作台： 尺寸 600mm×600mm×700mm ，承重 50kgs 以上 5、通风装置：需要 |
| 主要特点 | 1、 采用橡胶吸盘和磁力钢片模板固定样件，不仅样件取放自如，而且操作简便； 橡胶吸盘和磁力钢片模板大小可根据需要进行定制。 2、 该机上盖具有红外加热功能，可以使温度保持在一个稳定值。 3、 本机上盖具有 4 组喷嘴，可使胶体以雾状喷在样片表面，使薄膜更均匀。 4、电机部分、 温度控制部分、 注液部分分别使用独立电源的方式，电机调速系统 则 采 用 了 抗 干 扰性高 的 PLC 进 行 控 制， 数 值显示 更 直 观可 靠， 转 数 在 100-2000RPM 内可调。 5、涂膜机在工作时设有两个阶段，在启动前根据实际需要， 可分别进行时间 1、 转速 1、时间 2、转速 2 的设置。 设置完成启动后，涂膜机先以转速 1 在时间 1 时间内运转，使涂膜物质逐渐分散开。 当时间 1 时间结束时，涂膜机自动进入 时间 2 时间阶段运转，使涂膜物质更加均匀。 |
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| 6、喷雾旋转涂覆机启动快速、转数稳定，可以保证膜层厚度的均匀性与一致性。 7、在安装结构上，采取了减震措施，降低运转时的噪音。 8、腔体采用聚丙烯材质，使用寿命更长，提高耐化学腐蚀性和优异的抗应力开裂 性能；机身采用铸铝结构，结实耐用且质轻。 |
| 技术参数 | 1、 电源： AC220/110V、 50/60Hz 2、 电机功率： 功率 210W 3、双转速涂膜功能:双转速及涂膜时间分别设置， 在启动后先低速运转(滴涂胶 液)，然后自动转换到高速运转(匀胶)。转速稳定（±1%），涂膜物质均匀。 转数 1： 100-2000 RPM 有效 时间 1： 1--200s 有效 转数 2： 100-2000 RPM 有效 时间 2： 1--200s 有效 4、 适用于 Φ153mm样件涂膜。 5、上盖加热温度范围： 0-100℃。 6、环境温度 5-40℃，相对湿度不大于 85%RH,设备周围无强烈震源和腐蚀气体影 响。 |
| 规格尺寸 | 主机外形尺寸 500mm （长） ×410mm （宽） ×330mm （高）， 重量 24Kg。 |
| 标准配件 | 1 | 磁性钢片模板（Ф160mm） | 1 件 |
| 2 | 吸盘(Ф153mm) | 1 件 | |
| 3 | 温控箱 | 1 台 | |
| 4 | 蠕动泵 | 6 台 | |
| 可选配件 | 橡胶吸盘 | ||
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