RT-1000快速退火炉采用全新概念的PG/PBN静电加热系统,该加热系统主要由小尺寸的陶瓷加热器、电传导陶瓷PG(Pyrolytic Graphite)和电绝...
真空快速退火炉RTPRTA(快速热退火); RTO(快速热氧化);注入退火;扩散;化合物半导体退火;渗氮;渗硅; 结晶化与致密化;
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