产品型号

1700℃立式淬火炉 GSL-1700X-80VTQ

安装条件

本设备要求在海拔 1000m 以下， 温度 25℃±15℃ ，湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、电： AC220V 50Hz，必须有良好接地

3 、气： 如作为 CVD 系统使用，需自备气源 （标准带有宝塔接头，可自费改制成为双卡套接头）

4、工作台： 尺寸 1200mm×600mm×700mm ，承重 300kg 以上

5、通风装置：需要

主要特点

1、双层不锈钢壳体，并采用 1800℃级高纯度氧化铝纤维绝热。

2、炉管配有绝热管堵，减少管内向外热辐射。

3、炉管顶部配装带有不锈钢针阀的密封法兰，底部配有闸板阀、真空计、 KF25 真空接口。

4、顶部法兰配有电磁铁， 可悬挂质量约 500g 的样品，当按下温控单元上的电磁吸盘按钮时， 样品就会坠入淬冷水箱内。

5、采用下置淬冷水箱，便于立即淬火。

6 、采用与炉体分离式的独立温控单元，PID 控制器，可设置 30 段升降温程序，并内置超温报

警保护装置， 以及 RS485 通信端口。

7 、已通过 CE 认证，所用电器元件（>24V）已通过 UL 、MET 、CSA 认证。

技术参数

1 、电源： 单相 AC 220V    50Hz/60Hz    4KW

2、炉管： 99.8%高纯度氧化铝管， 内径 Ø74mm ，外径 Ø80mm ，长 850mm

3、加热元件： 4 根 1800℃级 U 型硅钼棒

4、加热区域： 200mm

5、恒温区域： 65mm，精度± 5℃

6 、工作温度：  1700℃（<1h）， 连续工作 800℃-1650℃

7、升降温速率： 1200℃以上时为 5℃/min ，1200℃以下时为 10℃/min

8、控温精度：± 1℃

9、真空压力： 机械泵 50mtorr ，涡轮分子泵 10-5torr

产品规格

尺寸： 1080mm×650mm×1500mm；重量： 190kg

标准配件

1

氧化铝管

1 根

2

氧化铝管堵

4 个

3

不锈钢法兰

1 套

4

热电偶

1 个

可选配件

1 、PC 控制软件

2、不锈钢卡套接头

3、分子泵

注意事项

1、在释放样品前， 必须先向炉管内充入 5psi 氩气，再打开闸板阀。

2、硅钼棒是在高温氧化性气氛下使用的。在高温氧化气氛中，其表面生成一层光亮致密的 SiO2  玻璃膜，能够保护硅钼棒内层不再氧化。因此，不得在 400℃-700℃之间使用，否则将会低 温氧化致使毁坏。

3、气氛气体输入端必须装配减压阀。在连续通气时，输出压设置在 3psi 以下。若压力水平超

过 3psi 将会对炉膛造成不可逆的损害。

4、如若炉内是正压条件，且未开启放气阀时， 切勿进行加热。在加热过程中要实时观测真空 计， 一旦炉内压力接近 3psi，请立即打开放气阀，避免不可预见的损坏。

5、气体的流量应限于<200SCCM（200ml/min）。

6、氧化铝管的真空极限定义为： 在管内温度达到 1500℃时为止，皆视为安全真空压力范围。